高い信頼性と耐久性があります。ベローズ軸仕様で高真空のあらゆるシーンに最適です。接続口は、KF、ISO、JIS、CFフランジで接続可能です。

UHV対応ゲートバルブ。一般産業用から研究開発用に最適。長いライフサイクルが特徴です。ゲートバルブは高真空及び超高真空の環境用の2種類がある。手動型及び圧空作動の操作方式でゲートを開閉する。直線式開閉の構造によりメンテナンス及び操作性が良い。接続口は、KF、ISO、JIS、CFフランジで接続可能です。

応用範囲：真空排気システム、高真空等応用の排気システム、半導体の真空装置、研究用の真空装置等

CVDなど様々な装置に使用、搬送系ゲートバルブとして生産装置から量産装置用に開発されたバルブです。