マスフローコントローラー／マスフローメーター・フローメーター配管継手・バルブ・圧力計測機器真空ポンプ・真空計・ヘリウムリークディテクタクリーンルーム／クリーンブース・クリーンユニット
ガスパネル（マスフローパネル）・ガスボックス（マスフローボックス）ガス配管（特殊ガス配管・分析用ガス配管・工業用ガス配管）現地配管及びプレハブ配管
真空配管（ICF・KF/NW・VG/VF）設計製作真空チャンバー設計製作
