メーカー樫山工業
樫山工業
樫山工業は、「お客様第一」をモットーに、時代時代のさまざまなニーズに応えながら事業領域の幅を拡げ、着実に進化してきました。特にポンプに関しては、流体の研究・技術をベースに現代産業の最先端分野を支えている真空技術を極め、半導体業界中心にあらゆる先端分野に真空ポンプ、真空機器を送り出しています。
空冷式ドライポンプ
NeoDry-Eシリーズ
トータルコストの低減を追求した空冷式ドライ真空ポンプ。冷却水不要のため一般産業、分析、研究開発向けとなっております。
- 3年に1度のメンテナンスサイクルを実現（大気・N2吸引時推奨期間）
- スクロールポンプのようなチップシール交換・性能劣化・摩耗粉無し
- ロータリーポンプのような油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し
- 軽量かつコンパクトでスクロール・ロータリーポンプの置き換えが簡単
- 水蒸気及び溶剤等の凝縮性ガスが排気可能
- インバータを使用している為、電源周波数50/60Hzでも同性能
- 研究施設に最適な低騒音、低振動
NeoDry-Gシリーズ
2022年モデルチェンジ
- 6年に1度のメンテナンスサイクルを推奨（大気・N2吸引時）
- ワイド入力電源仕様（単相AC100～240V）
- 静音化、温度最適化実現
- 水蒸気処理量UP実現
- IEC電源コネクタ採用
- 高調波規格対応
- シリアル通信機能装備
水冷式ドライポンプ
ハードプロセス SDE-TX、SDE-X、SDEシリーズ
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ。プロセス性能に特化したSDE-TXシリーズ、省エネ対応のSDE-Xシリーズ、大排気量対応のSDEシリーズ。
ライトプロセス MU-X、MU-P/Hシリーズ
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現。あらゆる製造装置に組み込みが可能です。2つの世界最「省」を実現したMU-Xシリーズと、省エネ「だけじゃない」MU-P/Hシリーズ。
大排気量 SDLシリーズ
ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ。L/L向けSDLシリーズ。
