メーカー|樫山工業

樫山工業

樫山工業

樫山工業は、「お客様第一」をモットーに、時代時代のさまざまなニーズに応えながら事業領域の幅を拡げ、着実に進化してきました。特にポンプに関しては、流体の研究・技術をベースに現代産業の最先端分野を支えている真空技術を極め、半導体業界中心にあらゆる先端分野に真空ポンプ、真空機器を送り出しています。

空冷式ドライポンプ

トータルコストの低減を追求した空冷式ドライ真空ポンプ。冷却水不要のため一般産業、分析、研究開発向けとなっております。

  • 3年に1度のメンテナンスサイクルを実現(大気・N2吸引時推奨期間)
  • スクロールポンプのようなチップシール交換・性能劣化・摩耗粉無し
  • ロータリーポンプのような油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し
  • 軽量かつコンパクトでスクロール・ロータリーポンプの置き換えが簡単
  • 水蒸気及び溶剤等の凝縮性ガスが排気可能
  • インバータを使用している為、電源周波数50/60Hzでも同性能
  • 研究施設に最適な低騒音、低振動

空冷式ドライポンプ

空冷式ドライポンプ特徴

水冷式ドライポンプ

ハードプロセス SDE-TX、SDE-X、SDEシリーズ

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ。プロセス性能に特化したSDE-TXシリーズ、省エネ対応のSDE-Xシリーズ、大排気量対応のSDEシリーズ。

水冷式ドライポンプ

ライトプロセス MU-X、MU-P/Hシリーズ

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現。あらゆる製造装置に組み込みが可能です。2つの世界最「省」を実現したMU-Xシリーズと、省エネ「だけじゃない」MU-P/Hシリーズ。

水冷式ドライポンプ

大排気量 SDLシリーズ

ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ。L/L向けSDLシリーズ。

水冷式ドライポンプ

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