メーカー|ファイファーバキュームテクノロジー

ファイファーバキュームテクノロジー

ファイファーバキュームテクノロジー

ファイファーバキュームテクノロジーは、ドイツ・アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、RDなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。ワールドワイドサービスで日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能です。

ロータリーポンプ

一般的に、大気圧から中真空(~10-1Pa)が必要とされるアプリケーションで、幅広く使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。また、高真空を作り出す為に必要な主ポンプの補助ポンプとしても使用されます。

  • 業界トップレベルの基本性能
  • ターボ分子ポンプと組合す事により、シンプルなシステム構築が可能
ロータリーポンプ

ターボ分子ポンプ

高真空(<1x10-1Pa)が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどの粗引きポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

  • 業界トップレベルの基本性能

圧縮比、到達真空度、ガス流量など

  • 使用環境に合わせて仕様選択可能
  • アクセサリー類自動認識し、面倒な配線作業などが不要

ターボ分子ポンプ

ドライポンプ

一例として、半導体製造装置などで、油回転ポンプの作動油が凝固してしまう事を防ぐ為に開発された、ポンプ容器に潤滑油を必要としない気体移送式の機械的真空ポンプです。したがって、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。メーカによって、ダイヤフラム式、クロー式、スクリュー式、スクロール式、ターボ式、ルーツ式など排気方法によって構造の違いがあります。

ドライポンプ

ルーツポンプ

メカニカルブースタポンプとも呼ばれます。自身では、大気圧までの圧縮と排気に対応していない為、油回転ポンプなどの粗引きポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。性能は、粗引きポンプの機種&性能に依存します。

ルーツポンプ

排気セット

ターボ分子ポンプと粗引きポンプを組合せたユニット、ルーツポンプと粗引きポンプを組み合わせたユニットです。お客様の仕様に合わせた組み合わせが可能です。排気システムの詳細については、お気軽にご相談ください。

排気セット

真空計

真空(圧力)の程度を計測する計測器です。全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。全圧真空計は、下記2種類に大別されます。

  1. ガス種に依存しない、力学的な計測方式
  2. ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

真空計

ヘリウムリークディテクタ

リーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーガスにヘリウムが最適とされています。

  • 軽い
  • 分子が小さい
  • 製品を汚染せず、人体に対して無害

様々の試験体に対応できるようラインナップが豊富です。検査の自動化も可能です。

ヘリウムリークディテクタ

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